MOTOR AND DRIVE
電機及驅動
半導體行業電機
半導體行業電機
半導體行業中RTP、RTA工藝中涉及到的快速退火設備，其中利用磁懸浮轉臺對晶圓進行穩定懸浮和旋轉，實現相應的工藝要求。
磁懸浮電機控制器在正常運行時可控制電機平穩運行，轉速波動在工作范圍內可達到要求精度；具備轉子運動狀態監控功能，在設備產生故障時，能夠及時報警并生成異常日志，以便后續故障排查；具備定子溫度監控及過溫保護功能；具備斷電保護、急停功能，可在斷電、失載、過載、偏心、跳動超標等情況下提供設備保護等。
進一步了解東能
感受東能助力工業科技轉型 暢導能源產業綠色發展
東能(沈陽)能源工程技術有限公司
數字賦能 工業互聯
聯系信息
總部地址：遼寧省沈陽市沈河區文藝路26號萬科中心35F
實驗室地址：遼寧省沈陽市和平區三好街84-8號KY-12
一工廠地址：遼寧省沈陽市渾南區聯東U谷渾南高新裝備產業園34-2
鞍山分公司地址：遼寧省鞍山市鐵東區萬科東源大廈1207