SEMICONDUCTOR
半導體
機臺真空磁懸浮電機
磁懸浮電機及其控制器
半導體行業中RTP、RTA工藝中涉及到的快速退火設備,其中利用磁懸浮轉臺對晶圓進行穩定懸浮和旋轉,實現相應的工藝要求。
磁懸浮電機控制器在正常運行時可控制電機平穩運行,轉速波動在工作范圍內可達到要求精度;具備轉子運動狀態監控功能,在設備產生故障時,能夠及時報警并生成異常日志,以便后續故障排查;具備定子溫度監控及過溫保護功能;具備斷電保護、急停功能,可在斷電、失載、過載、偏心、跳動超標等情況下提供設備保護等。
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